소재공정실험 박막공학 - PVD 와 CVD에 관해

소재공정실험 박막공학 - PVD 와 CVD에 관해

[소재공정실험] 박막공학 - PVD 와 CVD에 관해.pptx

목차 1 PVD 원리 및 종류 그리고 특징 2 CVD 원리 및 종류 그리고 특징 본문 Evaporation 진공 중에서 금속을 기화시켜 기판에 증착. 1. 증착 하려는 source material을 도가니에 넣고 가열. 2. Source material이 기체상태가 되어 기판의 표면에 충돌. 3. 충돌된 기체상태의 금속원자가 기판에 증착됨. 키워드 박막공학, 소재공정실험, 공정, 공학, 박막, 실험